电子专用气体系统阀箱VMB/阀盘VMP的介绍及硬件和安全功能I.阀组VMB (阀组)/阀盘VMP (阀组面板) 介绍这是一个嵌入多个分配管道和排气管的盒子。它允许气体从单一来源分配到多点应用 (典型的...
2021-12-17 
特气柜GC 特气架GR（Gas Cabinet or Gas Rack）的功能与分类特气柜Gas Cabinet是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性气体供应而设计的供应系统，按类别可分为：全自动、半自...
2021-12-17 
特种供气系统报警系统泄漏的应急处理及从业人员安全注意事项专用气瓶装入专用气柜，经专用气柜降压过滤后，送入车间VMB/VMP（有毒气体用VMB，无毒气体用VMP）。特殊气体进入VMB/VMP后，根据设备...
2021-12-17 
集中供气系统中气瓶存储房的设计要求集中供气系统采用手动、半自动或全自动切换系统。通常每个供气源处于开关和待机状态。局部或整体的气体压力和流量可根据仪表工况进行调节，既能保证仪表气体流量和压力的稳定性和...
2021-12-16 
电子气体检漏仪的重要性及安装要求为什么电子气体检漏仪的安装很标准在生产运行中，由于固定探测器和采样口带有取样管的非标准安装，导致探测器误报，不能及时报警，甚至不能起到有效的作用。该探测器受自身探测器范...
2021-12-16 
电子特气输气系统设备配置规范电子特种气体管道系统1、GC、GR可使用单工艺气瓶外置吹扫氮气（源）瓶（单瓶型），外置双工艺气瓶 内置吹扫氮气和内置双工艺气瓶等多种结构配置吹扫氮气。2、GC、GR应设置工...
2021-12-16 
随着半导体产业的蓬勃发展，对其配套项目提出了更高的要求。特种气体供应未形成有效体系，钢瓶凌乱，管理混乱，不相容气体混入等问题较为严重，极大影响用气安全。那么特种气体管道工程中的废气尾气如何处理呢？今天...
2021-12-16 
精密气体输送是半导体制造的核心。不同特性的气体（腐蚀性、反应性或者惰性）以不同流速输送至工艺室，从而实现逻辑芯片和存储器芯片的某些关键工艺。这些气体统称电特气(ESG)，不仅需要精确的数量和良好的重复...
2021-12-15 
特气产品中存在大量的高毒性，自燃性，可燃性及禁水性物质，故特气系统安全防范措施会成为极端状况下的最后屏障。同时，由于高成本、低使用概率的特点，也非常容易被忽视。火焰侦测器：依据不同的火焰性质决定烟雾报...
2021-12-15