特气产品中存在大量的高毒性，自燃性，可燃性及禁水性物质，故特气系统安全防范措施会成为极端状况下的最后屏障。同时，由于高成本、低使用概率的特点，也非常容易被忽视。

火焰侦测器：依据不同的火焰性质决定

• 烟雾报警器

• 温度报警器

• 红外/紫外火焰报警器

地震仪系统：

• 针对地震频繁区域及危害极大的物质

闭路电视系统：

• 实时监控

• 对于剧毒物质，本系统是政府的强制要求

消防系统：依据不同的物质性质决定

• 柱状水喷淋

• 雾状水喷淋

• CO2系统

• 干粉系统

• 蛭石系统

气体侦测系统：依据不同的物质性质决定

• 电化学式

• 半导体式

• 纸带式

• 红外式

• 质谱式

• 检知管式

• 触媒燃烧式

• 伽凡尼电池式

排放系统

• 良好的风管设计及材质可靠性要求

• 混合排放的管理
  

• 合适的尾气处理装置

个人防护具及安全装置

• 足部防护

• 手部防护

• 身体防护

• 面部防护

• 呼吸防护

• 冲身洗眼器

• 六氟灵，敌氟特灵等专用药品

• 急救包
  

气房负压控制系统：

• 高阶要求，可有效防止潜在泄露的无组织逸散

建筑及系统防爆要求：

• 针对可燃性气房尤其重要

气房温度控制：

• 针对低压气体及低闪点物质的安全要求

• 对于低压气体或液体的工艺要求

• 对于容易发生分解或聚合的气体的品质要求
  

物质兼容性要求：

• 不兼容的物质严禁混放

• 确保足够的安全间距

合理的工具及设备配置

• 扭力扳手

• 氦检仪

• 垫片耗材

• 无尘布耗材

• IPA耗材

• 其他工具