随着半导体产业的蓬勃发展，对其配套项目提出了更高的要求。特种气体供应未形成有效体系，钢瓶凌乱，管理混乱，不相容气体混入等问题较为严重，极大影响用气安全。那么特种气体管道工程中的废气尾气如何处理呢？今天，瑞斯达流体工程技术有限公司的工作人员为您介绍：

特殊气体尾气处理方法

特殊气体会对健康和环境产生巨大的危害，特殊气体排放如何处理，使用什么设备，这里将深入介绍。

特殊气体的废气状态

废气不可避免地作为特殊气体系统的衍生物而存在。以往，在很多高校，由于实验室用气量小，建设单位业主没有充分认识到废气排放的问题。随着越来越多的半导体工厂如雨后春笋般涌现，生产用特殊气体的排放量也随之增加。请注意。所以如何排放，如何排放废气成为了很多用户的难题。

特种气体系统尾气排放处理装置处理方法：

尾气处理装置类型应根据待处理尾气中特殊气体的特性选择，对不相容的特殊气体应单独设置尾气处理装置；

废气处理装置宜布置在GR、GC等特种气体设备附近；

特殊气体废气处理方法宜采用干法吸附、湿法洗涤、热分解处理、燃烧处理、等离子分解处理、稀释处理及以上方法的组合。