高纯气VMP阀门盘

高纯气VMP阀门盘，是一种内嵌多支路，实现高纯气体或液体分流的阀门箱。

VMP能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点，压力可被单独地调控，从而可同时满足不同应用的需求。

它还可提供吹扫功能和真空抽气功能，因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护VMP的每一部份。

除此以外，设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下，吹扫某一支路或对其进行真空抽气。

VMP通过采用安装的压力表、手动阀等装置，具有成本低的优势，能够实现设备安全有效的运行，同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。
    
适用气体：

易燃性，腐蚀性，毒性气体，诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。

适用行业：

Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所，高校实验室等