三瓶全自动特气柜

规格：三瓶工艺气瓶，全自动，带吹扫N2

■ 特气柜尺寸：W1100宽×D500深×H1800高

■ 外吹扫：PN2，1/4"MVCR接口

■ 抽真空：GN2，1/4"MVCR接口

■ 气动隔膜阀：CDA驱动，1/4"卡套接口

■ VENT排空管：1/2MVCR接口

■ 工艺气体出口：2个，1/4"MVCR接口

■ 盘面规格：1/4"盘面

■ 标准配备：自动切换，防爆防腐柜体，双开防爆自锁门，防爆玻璃观察窗，泄漏报警，远程切断，欠压报警，主材SS316L

■ 柜体换气量:4"排气口，1200次/小时

■ 控制柜尺寸：W1100宽×D230深×H320高

■ 控制柜电源：220VAC，50HZ，200W，漏电保护

■ 操作界面：7"彩色触摸屏

■ 选配：工艺气瓶重量监控器，工艺气体超压报警，盘面加热及温控装置，报警信号手机短信与电话通知

适用范围：

应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。