POU工艺气体管路的设计思路

高纯气体管路的设计，所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。

江西瑞斯达流体工程技术有限是一家专业提供高纯工艺系统整体解决方案服务商，公司业务涵盖电子特气系统、实验室气路系统、高纯气体管道、特殊工艺气体二次配管系统、氢能源供气系统、模块化高压储气供气系统等，提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测等全套工程技术服务和配套产品。

公司自主研发及生产气体半自动切换汇流排、气体减压器、管阀件、接头；气体混合配比仪；超高纯供气面板；特气柜、VMB阀门箱；科研测试设备；超高压、超低温气体系统；高真空系统；气体取样系统等产品，经国家认证实验室检测合格，广泛应用于高校实验室、科研检测单位、半导体、微电子、生物制药、医疗、光伏、LED、石油化工、电力、新材料、新能源等领域。

工程服务覆盖半导体、集成电路、光电、新能源、微电子、生物医药、科研所、标准检测等高科技行业；为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案与全国各大院校科研所合作研发的多个实验室项目，并取得了可喜的成绩。同时为众多高新技术企业和上市企业提供了优良的气体应用系统服务，保障其生产和设备的可靠运行！公司实行以设计、施工、材料配送为一体化的整装模式，充分满足不同消费群体的气体使用要求。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管，则用于不做为供气管路的双套外管。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

以上就是我们简单介绍的POU工艺气体管道系统的设计简述，希望能给大家提供参考。