BSGS大宗特气柜

大流量特殊气体供应系统(Bulk Specialty Gas Supply System),简称BSGS，可实现电子特殊气体的持续大流量不间断安全供应，主要适用于Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED等工厂特气(如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl)的集中供气。

ST9300 BSGS可适应ISOs，tube trailers，Y-cylinders，drums, cylinder packs, 等各种气源的供给方式，基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断(当设定报警信号被触发时)。

BSGS采用PLC控制，触控屏为人机界面，通过设备安装的压力传感器、气动阀、温控等装置，实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能、高纯阀件的合理选择和布局、调压阀J-T效应加热器等，既满足了半导体工艺生产过程中对特殊气体连续大流量供给和高纯度的要求，同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。
    
适合气体：易燃性，腐蚀性，毒性气体，诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等