电子特气输气系统设备配置规范

电子特种气体管道系统

1、GC、GR可使用单工艺气瓶外置吹扫氮气（源）瓶（单瓶型），外置双工艺气瓶 内置吹扫氮气和内置双工艺气瓶等多种结构配置吹扫氮气。

2、GC、GR应设置工作气面板。

3、系统的供给能力应通过热力学和流体力学计算验证。

4、气瓶柜关闭时，负压不小于100Pa，柜内换气次数不小于300次/H。

5、GC板的厚度不应小于2.5mm，并应有腐蚀涂层。

6、GC门应具有自动关闭功能，并配备防爆玻璃观察窗。地脚螺栓的设计应满足当地抗震设防烈度的要求。

电子特种气体管道系统

特殊气体系统安全要求

1. 严禁将不相容的气瓶放在同一气瓶柜或气瓶架内。

2、天然、易燃、有毒、腐蚀性气瓶柜应在排气口安装气体检漏仪。

3、GC、GR应设置清晰明确的安全标志

那么电子供气系统的配置有哪些要求呢？

电子输气系统非常安全，对设备配置有很多要求。在操作设计上也有很多要求。本节主要介绍电子气体输送系统的安装规范和特种气体系统的安全要求。

电子特气管道供气系统概述

在现代半导体、科研实验室、综合工厂的集中供气系统中，气瓶柜、气瓶架已经成为气瓶气体的标准设备，那么这些GR对GC的配置有哪些要求呢？相信很多业主和用户都没有一个明确的概念。只有了解了标准化要求，才能在工厂和实验室建设中合理规划布局和安全使用。